27.02.2009 - Universität Ulm

Zeiss: Entwicklungskooperation mit Universität Ulm für Niederspannungs- Elektronenmikroskopie gestartet

Carl Zeiss SMT, die Firma CEOS Heidelberg und die Universität Ulm haben eine Entwicklungskooperation für Niederspannungs-Transmissionselektronenmikroskopie gestartet. Für das zunächst auf fünf Jahre ausgelegte Projekt stehen insgesamt 11,5 Millionen Euro zur Verfügung, wovon die Deutsche Forschungsgesellschaft (DFG) 4,2 Millionen Euro Fördermittel trägt. Carl Zeiss unterstützt das Projekt mit insgesamt 3,7 Millionen Euro.

Das Kooperationsprojekt trägt die Bezeichnung SALVE, was für Sub-Angstrom Low Voltage Electron Microscopy steht. Ziel ist die Entwicklung von Transmissionselektronenmikroskopen (TEM), die mit - vergleichsweise - niedriger Beschleunigungsspannung atomar aufgelöste Bilder von Proben ermöglichen sollen. Momentan genutzte Mittelspannungs-TEM zerstören strahlungsempfindliche Proben, noch bevor verwertbare Bilder aufgenommen werden können. Die Entwicklung bedeutet, an vielen Stellen wissenschaftliches und technologisches Neuland zu betreten, denn für die gewünschte Auflösung werden bis jetzt nur in der Theorie beschriebene, spezielle Korrektoren benötigt. Diese sollen dabei helfen, Abbil- dungsfehler zu korrigieren, um so die Information aller wechselwirkenden Elektronen zu nutzen.

Pionier der theoretischen Beschreibung derartiger Korrektoren ist der früher an der TU Darmstadt lehrende Professor Harald Rose. Für ihn erfüllt sich mit dem Projekt SALVE der Wunschtraum, die Beschleunigungsspannung ohne Auflösungsverlust frei nach den Anforderungen des Präparats und der wissenschaftlichen Fragestellung wählen zu können.

Für den Bau der Korrektoren steht das Heidelberger Unternehmen CEOS GmbH bereit, das sich auf den Bau derartiger Systeme spezialisiert hat. Parallel zur Geräteentwicklung bei Carl Zeiss werden an der Universität Ulm die Anwendungsentwicklung betrieben und Verfahren zur Probenpräparation erforscht.

Die Projektleiterin, Professorin Ute Kaiser (Universität Ulm), äußerte sich anlässlich des Projektstarts enthusiastisch über die Anwendungsperspektiven: „Durch dieses neue Mikroskop können unter anderem elektronenstrahlempfindliche Objekte dargestellt und molekulare Prozesse verfolgt werden, die zur Entschlüsselung von chemischen Umwandlungen beitragen. Das Wissen über diese Prozesse ist von erheblicher Bedeutung für viele Anwendungsbereiche in den Materialwissenschaften, der biomedizinischen Forschung und auch der Halbleitertechnologie.“

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