Deutsche Forschungsgemeinschaft sieht Nanopositionier- und Nanomesstechnik der TU Ilmenau als wissenschaftlichen Leuchtturm

26.05.2009 - Deutschland

Ein Gutachtergremium der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG schätzt den Sonderforschungsbereich "Nanopositionier- und Nanomesstechnik" der Technischen Universität Ilmenau als "Leuchtturm mit unerreichter Präzision" ein und fördert ihn daher in den kommenden vier Jahren mit rund sieben Millionen Euro.

Der SFB 622 der TU Ilmenau wurde erstmals im Jahr 2002 von der DFG, einer von Bund und Ländern finanzierten Forschungsförderungsorganisation, bewilligt und wird nun schon zum dritten Mal nacheinander gefördert. Damit verteidigte die Universität ihre unangefochtene internationale Spitzenposition in diesem Bereich. Mit einem Messvolumen von 25mm x 25mm x 5mm und einer Positionierunsicherheit von unter 10nm entwickelte sie das derzeit genaueste Präzisionsgerät seiner Art weltweit.

Nanomess- und Nanopositioniergeräte sind für die nanometergenaue Positionierung und Messung von Oberflächen und Strukturen, von mechanischen und optischen Präzisionsteilen sowie für die Materialanalyse erforderlich. Die Wissenschaftler der TU Ilmenau streben danach, immer kleinere Objekte in immer größeren Raumbereichen zu beherrschen. Die Vision des Sonderforschungsbereiches 622 ist es, die wissenschaftliche Basis zu schaffen für High-tech-Geräte zur Positionierung, Antastung, Messung, Analyse, Modifizierung und Manipulation von dreidimensionalen Objekten in Bereichen bis zu 450 mm x 450 mm x 80 mm mit Nanometerpräzision.

Dieses enorme technologische Ziel stellt höchste Anforderungen an die dreidimensionale Technologie. Zukunftstechnologien wie beispielsweise die Nanotechnologie, die optischen Hochtechnologien oder die Mikrosystemtechnik entwickeln sich rasant. Bis vor kurzem waren meist eine 2D-Positionier- und eine 2,5D-Messtechnik ausreichend. Aufgrund immer komplexerer räumlicher Strukturen in der Mikrosystemtechnik, der Präzisionsoptik aber auch in der Halbleitermetrologie gewinnt die Beachtung der dritten Dimension zunehmend an Bedeutung.

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