Verifiziert

Restgasanalysatoren:

IonTamer ToF MS

IonTamer-Instrumente sind Flugzeit-Restgasanalysatoren (TOF-RGA) für die Analyse von Gasen

Spacetek Technology AG

Vollständige quantitative chemische Analyse in Echtzeit bis zu zehnmal pro Sekunde

Direkte Integration in den Fertigungsprozess und Unterstützung der vollständigen Fernsteuerung

Simultane Aufzeichnung vollständiger Massenspektren mit hoher Auflösung (Massen 1200 u/e)

IonTamer PS
IonTamer FA
IonTamer DI
IonTamer PS
IonTamer FA
IonTamer DI

Kompakter Flugzeit-Restgasanalysator (TOF-RGA) für die Prozessanalyse

Die IonTamer-Instrumente messen kontinuierlich und liefern bis zu 10-mal pro Sekunde kalibrierte Massenspektren über den gesamten Massenbereich (1 - 1200 u/e). Die Daten werden über eine Ethernet-Schnittstelle an die Benutzersoftware von Spacetek Technology oder an das Prozesssteuerungssystem des Kunden weitergeleitet. Diese Eigenschaften eröffnen nie dagewesene Möglichkeiten zur Prozesssteuerung und zur Optimierung von Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Als leistungsstarke Restgasanalysatoren detektieren und überwachen die IonTamer-Instrumente Verunreinigungen in Vakuumsystemen, die in der industriellen Produktion sowie in der Forschung und Entwicklung eingesetzt werden. Die Instrumente sichern die Produktion und erhöhen die Produktqualität, indem sie vorübergehende Abweichungen vom Sollwert erkennen. Durch die Identifizierung von Verunreinigungen erleichtern die IonTamer-Instrumente die Lokalisierung und Behebung von Störungen.

Alle in den IonTamer-Instrumenten verwendeten Materialien sind für Anwendungen in anspruchsvollen Industrien, wie z.B. der Halbleiterindustrie, zugelassen.

Technische Daten

Typ: Massenspektrometer
Kopplung: N/A
IonTamer PS

1

IonTamer PS

IonTamer FA

2

IonTamer FA

IonTamer DI

3

IonTamer DI

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IonTamer PS

Restgasanalysatoren: IonTamer ToF MS

IonTamer-Instrumente sind Flugzeit-Restgasanalysatoren (TOF-RGA) für die Analyse von Gasen

Spacetek Technology AG

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