Mobile Vakuum Dichtheitsprüfgeräte

Die INFICON UL-Produktfamilie von Dichtheitsprüfgeräten, ist heute der marktführende Standard für effiziente Helium-Vakuumdichtheitsprüfung in der Industrie und insbesondere in der sehr anspruchsvollen Halbleiterfertigung. Die Produkte der UL-Familie bilden den bestmöglichen Kompromiss zwischen hoher Leistung, beispielloser Robustheit und Wirtschaftlichkeit. Die Geräte bieten dem neuesten Stand der Technik entsprechende Nachweisgrenzen von E-12 mbar*l/s bei entsprechend kurzen Abpump- und Reaktionszeiten.

Durch die ergonomische Gerätegestaltung lassen sich die Geräte besonders gut handhaben und können auch in Wartungsbereichen mit beengten Platzverhältnissen problemlos eingesetzt werden. Die Untergrundunterdrückung (I-ZERO) ermöglicht eine kontinuierliche Dichtheitsprüfung um mindestens zwei Dekaden unterhalb des vorhandenen Untergrundpegels. Die UL3000 Fab und UL3000 Fab ULTRA stellen die neueste Generation von Dichtheitsprüfgeräten mit sehr vielen Verbesserung wie I- ZERO 2.0, MASSIVE-Mode und HYDRO-S dar. Der UL5000 ist spezialisiert auf sehr große Prüfvolumina über 100 l.